이제원 교수
반도체 및 MEMS제조
Univ.of Florida 공학박사
PRIME의생명공학관(J동) 512호
학력
- (학사) 한양대학교 무기재료공학과 (1987.3-1993.2)
- (석사) University of Florida, 재료공학과 (1993.8-1995.8)
- (박사) Univ. of Florida, 재료공학과 (1995.8-1997.12)
주요경력
- 미국 Unaxis, Inc. Senior R&D Engineer
- 경남 지역산업 기술지도 정밀기기 산업 집필위원
- 헬스캐어 플라즈마 기술개발 ICCE 센터장
교육 및 연구경력
- 미국 Sandia National Lab Internship (1997.5-1997.8)
-기술자문: 삼성전자 광통신연구소 (1997.9)
- Bell Laboratories, Murray Hill, NJ internship (1997.10)
- 인제대학교 나노융합공학부 교수 (2000.8-)
- University of Florida 재료공학과 자문교수 (2007.7-2008.7)
- University of Northern Texas 방문교수 (2014.12-2015.12)
기타 및 학술관련 경력
- 미국 전기화학학회 회원
- 한국재료학회, 한국진공학회, 한국세라믹학회, 한국결정성장학회 회원
- 경남정밀기기센터운영위원회, 장비도입심의위원회 위원 (2005 -2007)
- 부산나노멤스센터운영위원회, 장비도입심의위원회 위원 (2004 -2006, 2018)
- 경남 김해 스마트 부품 산업 기획 자문위원, 경남 나노융합산업구축 위원 (2017-18)
연구 관심 분야
- 진공 및 플라즈마 장치/ 소스/공정 개발
- 화합물 반도체 및 박막 센서 소자 개발
- 스마트 헬스캐어 및 의료장치 개발
강의 분야
- 진공공학
- 플라즈마응용공학
- 반도체장비공학
- 구조재료시험
저서 및 주요 논문
화합물반도체 플라즈마 식각 등 논문 130편
플라즈마 장치 등 특허 10편
특허
- 누설 전류형 변압기를 이용한 플라즈마 처리장치 (2012.05.11.)
등록번호 : 1011473490000
- 플라즈마를 이용한 GaAs/AlGaAs 이종접합의 선택적 식각 방법 (2013.07.23.)
등록번호 : 1012908270000
- 플라즈마를 이용한 GaAs/AlGaAs 이종 접합 구조의 비선택적 식각 방법 (2013.07.23.)
등록번호 : 1012908280000
- 냉음극 플라즈마를 이용한 실리카 박막의 제조 방법 (2015.10.02.)
등록번호 : 1015591040000 ( ㈜다이아텍 기술이전)
- 냉음극 플라즈마를 이용한 산화아연 박막의 제조 방법 (2015.11.02.)
- 스마트 일회용 비닐 위생복 착용 장치 공동발명자 의과대 박석주 교수 (2020.06.03.) (시제품 제작사업 활용) 등록번호 : 1021211480000
진공공학의 이해 등 저서 4권
그 외